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Air pur au Plansee - ISO 6 pour les éléments semi-conducteurs

Le groupe Plansee, basé à Reutte, en Autriche, est spécialisé dans le traitement par métallurgie des poudres des métaux de haute technologie que sont le molybdène et le tungstène. Des investissements continus dans le développement de nouveaux produits et l'amélioration des processus garantissent l'implantation et l'emploi d'environ 2400 employés. Une salle blanche de près de 400 mètres carrés de classe de salle blanche ISO 6 a été mise en service, ce qui répond aux normes de sécurité élevées de l'industrie des semi-conducteurs.

Traitement propre des métaux
Avec plus de 14 000 employés sur 50 sites de production dans le monde, la société privée Plansee Group a réalisé un chiffre d'affaires de 1,5 milliard d'euros au cours de l'exercice 2018/2019, ce qui en fait l'un des leaders mondiaux du marché du traitement métallurgique des poudres de tungstène et de molybdène. En Autriche, où l'entreprise a ses origines en 1921 sous le nom de Metallwerk Plansee, se trouve le siège social et le plus grand site de production. Si vous pensez d'abord à la production avec des copeaux, de la poussière et de la saleté dans une entreprise métallurgique, c'est exactement le contraire qui se passe chez Plansee. L'entreprise se concentre sur les métaux réfractaires tels que le tungstène et le molybdène, qui ont des propriétés particulières telles qu'une résistance élevée et une bonne conductivité. Les métaux sont d'abord transformés en poudre de haute pureté, puis pressés, frittés et usinés. Les produits semi-finis et les composants sont nécessaires dans l'industrie électronique, dans la production de semi-conducteurs et dans la technologie médicale. La propreté absolue dans la production est donc la priorité absolue. Pour la production actuelle de composants pour la fabrication de semi-conducteurs, le processus se déroule même dans une salle blanche de classe ISO 6. Dans la salle blanche moderne CleanCell4.0 installée en 2019, des pièces et composants en molybdène et autres matériaux sont assemblés, dont la fonction est altérée par la moindre contamination. La contamination des composants sensibles par des particules doit être absolument exclue. Plus de la moitié de la surface de production de 400 mètres carrés répond donc aux exigences strictes de propreté de la classe de salle blanche ISO 6.

Technologie de salle blanche avec circulation d'air économe en énergie
L'air pur est introduit dans la salle blanche à l'aide d'unités à flux laminaire intégrées au plafond équipées de filtres haute performance ULPA15. Les flux d'air sans particules déplacent les particules en suspension vers le bas et sont ensuite évacués de la salle blanche dans le conduit d'air de circulation. Ce processus d'échange d'air est effectué jusqu'à 60 fois par heure. La circulation et le retour d'air s'effectuent à l'intérieur des murs de la salle blanche. L'air déjà refroidi et filtré est mis en circulation, ce qui contribue au fonctionnement très efficace de la salle blanche. De plus, la circulation de l'air à l'intérieur des murs assure une utilisation optimale de l'espace. Plansee a opté pour un système de salle blanche de Schilling Engineering. Mario Kuisle, ingénieur de projet chez Plansee, explique les avantages du système : « La recirculation de l'air du système de salle blanche CleanCell4.0 nous a convaincus dès le départ. Nous pouvons ici économiser des coûts énergétiques élevés à long terme. Il était également important que la circulation de l'air à l'intérieur des murs assure une utilisation optimale de l'espace. La salle blanche était exactement adaptée à notre situation. » Les conditions particulières de l'emplacement sur site nécessitaient une salle blanche adaptée aux besoins du client à plusieurs égards. L'ingénieur de projet se souvient de certains des défis auxquels l'entreprise de planification de salles blanches a été confrontée : "Le plafond sur site du hall Plansee est structurellement inadapté à la suspension, entre autres en raison des charges de neige attendues. Le plafond de la salle blanche a ensuite été construit avec une ossature autoportante en profilés d'aluminium. Le plafond est praticable et a été identifié avec des passerelles stables. Un énorme avantage de la construction est que la salle blanche a été construite sans supports ni piliers."

Construction modulaire
Un autre défi était la hauteur souhaitée de la salle blanche, qui a été conçue pour être quatre mètres plus haute que les salles blanches normales. La hauteur requise par l'installation de machines de mesure pourrait être atteinte avec des éléments muraux démontables. Le plafond, qui est équipé de 67 unités d'air pur, est également modulaire et peut être repensé de manière flexible. Le système modulaire de la salle blanche CleanCell4.0® permet une planification flexible de l'utilisation future, comme l'explique Mario Kuisle : « La structure modulaire du système de salle blanche nous a énormément aidés dans notre décision d'investissement. Nous voulions pouvoir convertir rapidement et de manière flexible la salle blanche à d'autres processus de production. Actuellement, nous produisons pour la production de semi-conducteurs et avons intégré les machines de production de manière appropriée dans les murs de la salle blanche. Grâce aux éléments de mur et de plafond modulaires, nous pourrons nous adapter à l'avenir à des concepts d'aménagement modifiés. »

Contrôle intelligent
Les bandes lumineuses à LED dimmables sont intégrées de manière homogène dans les bandes en aluminium du plafond.Avec 1000 lux, elles permettent d'obtenir un éclairage uniforme avec peu d'ombres et contribuent aux économies d'énergie. Les portes et les sas à matériaux sont également éclairés par des LED et utilisent différentes couleurs pour indiquer si une porte peut être ouverte ou si elle doit rester fermée pour l'équilibrage de la pression et le rinçage actif. Le système de contrôle et de surveillance connecté CR-Control® offre une commande intelligente, par laquelle les unités de filtrage individuelles, les données de pièce pertinentes pour la production telles que la température et l'humidité et la technologie de climatisation sont contrôlées et surveillées. La climatisation se caractérise par une climatisation extrêmement économe en énergie. En plus de la proportion élevée d'air recyclé déjà mentionnée, l'utilisation d'un dispositif de prétraitement de l'air et d'un refroidisseur d'eau refroidi par air permet de réaliser d'importantes économies. Mario Kuisle est très satisfait des premiers mois d'utilisation de la salle blanche : « La salle blanche fonctionne parfaitement. La technologie est très complexe, mais parfaitement coordonnée et bien pensée. L'optimisation énergétique de la salle blanche était très importante pour nous. Avec l'utilisation d'une pompe à chaleur, nous pouvons économiser des coûts supplémentaires élevés à long terme. Nous avons également la possibilité de programmer un abaissement de nuit. Les filtres silencieux et le bon éclairage sont également très positifs, ce qui facilite le travail quotidien dans la salle blanche.

Cet article a été publié: Reinraum online 01/2020

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