Die ISO 14644-1 definiert den Reinheitsgrad der Luft durch die Bestimmung von Grenzwerten für die maximal zulässige Partikelkonzentration pro m³ und ordnet diese den Reinraumklassen ISO 1 – 9 zu. Reinheitsklasse 1 ist dabei die reinste, sprich die maximal erlaubte Partikelkonzentration ist am geringsten.