Ein Lüfter-Filter-Modul (FFU) ist eine kompakte Einheit zur Erzeugung von hochreiner Luft. FFU steht für Fan-Filter-Unit. Diese Module ermöglichten es erstmals, eine höhere Flexibilität in die Luftströmung in Reinräumen zu bringen. Durch die Möglichkeit, die Module einzeln ansteuern zu können, konnte man innerhalb eines Raumes die Abströmgeschwindigkeit der Luft unter den Filtern flexibel variieren.