Oberflächenpartikel sind kleine feste oder flüssige Stoffe, die auf einer Oberfläche haften oder sich darauf absetzen. Sie können aus verschiedenen Quellen stammen, wie z.B. Staub, Hautschuppen, Haare, Mikroorganismen oder chemischen Reaktionen. In der Reinraumtechnik ist die Kontrolle von Oberflächenpartikeln wichtig, um die Qualität und Sicherheit von Produkten zu gewährleisten, die in sensiblen Bereichen wie der Mikroelektronik, der Pharmazie oder der Biotechnologie hergestellt werden.