Die Partikelgröße ist ein wichtiger Faktor für die Reinheit eines Reinraums. Die Partikelgröße bezeichnet den Durchmesser eines einzelnen Partikels in einer Luftprobe. Je kleiner die Partikelgröße, desto höher ist die Anzahl der Partikel pro Volumeneinheit und desto geringer ist die Reinraumklasse. Die Partikelgröße wird in Mikrometern (µm) oder Nanometern (nm) gemessen. Die Reinraumklasse definiert die zulässige Anzahl von Partikeln pro Kubikmeter Luft für eine bestimmte Partikelgröße. Die Reinraumklasse wird nach internationalen Standards wie ISO 14644 oder US FED STD 209E festgelegt.