Verifizierung ist der Prozess, bei dem nachgewiesen wird, dass ein Reinraum oder eine Reinraumkomponente die vorgegebenen Anforderungen erfüllt. Verifizierung umfasst in der Regel Tests und Messungen, die nach festgelegten Protokollen durchgeführt werden. Verifizierung ist wichtig, um die Qualität und Sicherheit von Produkten zu gewährleisten, die in Reinräumen hergestellt oder verarbeitet werden.