Die microfab Service GmbH, ein unabhängiger Dienstleister im Bereich der Silizium-basierten Mikrosystemtechnik, hat einen neuen Reinraum der ISO-Klasse 7 in Betrieb genommen. Das Reinraumsystem CleanCell4.0 ermöglicht die präzise Charakterisierung und Vermessung von MEMS-Bauteilen und -Systemen.
Auf einer Fläche von 100 m² bietet der Analytik-Reinraum eine kontrollierte Umgebung, die speziell für sensible Messungen und Analysen ausgelegt ist. Ein separater Reinigungsraum innerhalb der Reinraumanlage wurde mit Gelblicht ausgestattet, um die empfindlichen Produkte zusätzlich vor schädlichen Wellenlängen zu schützen.
