In der Reinraumdecke sind Filter Fan Units (FFU) mit integrierten Hochleistungs-Schwebstofffiltern installiert, die die Luft ansaugen, filtern und mit gewünschtem Druck in den Reinraum blasen. Die partikelarme Luftströmung, die auch Laminar-Flow genannt wird, verdrängt die partikelbelastete Luft im Reinraum und leitet sie durch Abströmöffnungen am Boden erneut in die Umluft-Wände.
Einfachere Systeme, wie Reinraumzelte oder Sauberräume können aber auch ohne Umluftsystem betrieben werden. In diesen Fällen wird 100% der Reinluft über Abströmgitter, Prozessöffnungen oder den Bodenspalt abgeleitet.